PFIB (شعاع أيون مركّز بالبلازما)

PFIB (شعاع أيون مركّز بالبلازما)
تفاصيل:
Compared to traditional gallium-ion focused ion beam (Ga-FIB), PFIB utilizes a more powerful xenon (Xe) ion beam, achieving a maximum current of 2.5 μA at 30 keV energy, which increases its etching rate by approximately 50 times. Therefore, PFIB is particularly suitable for processing large-size (>100 ميكرومتر) مقاطع عرضية-. يمكن لـ PFIB حل المشكلات التي لا يستطيع Ga-FIB التقليدي معالجتها، بما في ذلك إعداد عينة TEM المجانية من Ga-وقلب-حزمة الرقاقة-تحليل الفشل على مستوى -التحليل الميداني الكبير للمواد المسامية وإعادة البناء ثلاثية الأبعاد ذات الحجم الكبير-، مما يوضح آفاق التطبيقات الواسعة في مجالات تحليل أشباه الموصلات والمواد.
إرسال التحقيق
تحميل
الوصف
معلمات التقنية

محتوى الخدمة

 

عنصر الاختبار

وحدة الاقتباس

نوع العينة

معالجة -المقاطع العرضية وعلم القياس

ساعة (ح)

Semiconductor samples such as 3D NAND, DRAM, MEMS; other samples requiring large-size (>50 ميكرومتر) المعالجة

تحضير العينة -كبيرة الحجم TEM XS (مقطع -عرضي).

ساعة (ح)

نفس ما ورد أعلاه

إعداد العينات -الحجم الكبير TEM PV (عرض الخطة-).

ساعة (ح)

نفس ما ورد أعلاه

التصنيع الدقيق (النقش أو الترسيب)

ساعة (ح)

نفس ما ورد أعلاه

التحليل المؤجل (المؤخر)

ساعة (ح)

تحليل تأخير عينة النقاط الساخنة

 

نطاق الخدمة

 

انظر تفاصيل الخدمة، أنواع العينات

 

عناصر الاختبار

 

انظر تفاصيل الخدمة وعناصر الاختبار

 

دورة الاختبار

 

دورة الاختبار القياسية هي 3 أيام تقويمية. بالنسبة للمتطلبات الخاصة، يمكننا تقديم عروض أسعار لأوقات استجابة مختلفة: 48 ساعة، 24 ساعة، و12 ساعة.

 

مزايانا

 

يتمتع أعضاء فريقنا في GRGTEST Metrology Platform بخبرة عملية تزيد عن 5 سنوات في المتوسط ​​في مجال الفحص المجهري الإلكتروني، مما يمكننا من تقديم خدمات اختبار دقيقة وسريعة واحترافية.

يمكن للجيل الجديد من أنابيب المجهر PFIB تحقيق أعلى إنتاجية وأعلى جودة في معالجة المقاطع العرضية والتصنيع الدقيق.

بالإضافة إلى التلميع النهائي عند 500 فولت، يمكننا تحقيق أعلى جودة من إعداد عينة TEM المجانية من Ga+-.

 

 

الوسم : pfib (الشعاع الأيوني المركز على البلازما)، مزود خدمة pfib الصيني (الشعاع الأيوني المركز على البلازما).

إرسال التحقيق