تتيح تقنية GrgTest FIB مراقبة دقيقة للجودة
في الحقول مثل علوم المواد ، والتصنيع الإلكتروني ، وهندسة السطح ، فإن قياس سماكة الفيلم هو خطوة مهمة في ضمان جودة المنتج وأداءها . تؤثر دقة طبقة الفيلم بشكل مباشر على موثوقية المنتج ووظائفها ومتنوعة ومتنوعة من الأداء والقياس المتنوع. المتطلبات .
معضلة طرق اختبار سمك الفيلم التقليدية
1. سماكة اكتشاف مرآة تحضير العينة: تحضير العينة معقد والدقة محدودة
لقياس سمك العينة ، يجب أولاً أن يتم إغلاقه براتنج الايبوكسي ، ثم الأرض وصقلها مع ورق الصنفرة ، وأخيراً تم قياسها باستخدام مجهر . تتطلب هذه العملية مستوى عالٍ من تحضير العينة ، مما يضمن أنه لا يوجد أي شيء من الساخرة بين سطح الفيلم ومواد الختم .. طبقة .
2. قياس سماكة مضان XRF: نطاق التطبيق الضيق ، دقة غير كافية
يجب أن يحتوي قياس سماكة مضان XRF على قطع قياسية مقابلة لنطاق المعادن والسماكة ، ولا يمكن قياس سماكة الأفلام غير المعدنية . في نفس الوقت ، كطريقة اختبار غير مدمرة ، يكون خطأ الدقة كبيرًا في المستوى 100 نانومتر ، وهو أمر يصعب على تلبية متطلبات الكشف عن الدقة العالية {
تقنية FIB: اخترق قيود التقليدية ، فتح فصلًا جديدًا من الكشف الدقيق
توظف GrgTest تقنية FIB (شعاع أيون مركّز) ، والتي ، مع مبدأ عملها الفريد ومزاياها المهمة ، تقدم حلًا ثوريًا لاختبار سماكة الفيلم . تستخدم هذه التكنولوجيا العدسات الكهرومغناطيسية لتركيز شعاع أيون على شكل صغير للغاية ، مما يؤدي المنتج ، إزالة المواد بشكل فعال من خلال الحفر .
- بالنسبة للأفلام العضوية الحساسة والعينات الأخرى ، يمكن أن تودع تقنية FIB طبقة واقية ، وتقلل بشكل كبير من تأثير عملية الحفر على العينة ، وتجنب تمامًا مشكلة الإجهاد الحراري المتولد أثناء تصلب الإيبوكسي ، والتأكد من أن أداء طبقة الفيلم الحساسة حراريًا لا يتلف {} {}}
- يتم تجنب مشكلة تمديد الفيلم بشكل أساسي باستخدام حفر شعاع أيون .
- بالإضافة إلى عناصر الطبقة الوقائية المعروفة ، لا تقدم تقنية FIB عناصر أخرى أثناء عملية الاختبار ، ويمكنها تجنب تمامًا تداخل عناصر التلوث الخارجي في عملية إعداد العينة لتحليل المكونات السطحية أو الداخلية لطبقة الفيلم .
